研究人才詳細資料
年度 |
補助類別 |
學門代碼 |
計畫名稱 |
擔任工作 |
核定經費(新台幣) |
113 |
專題研究計畫
(一般研究計畫)
|
量測檢測及半導體設備 |
半導體先進製程蝕刻工作流體於晶圓表面行為之研究 |
計畫主持人
|
803,000 |
113 |
專題研究計畫
(產學合作研究計畫)
|
光電半導體自動化 |
先進半導體製程設備微汙染控制技術開發與驗證 |
計畫主持人
|
686,000 |
113 |
專題研究計畫
(產學合作研究計畫)
|
空氣 |
超臨界流體再生化學濾網用於先進半導體製程環境污染控制 |
共同主持人
|
736,000 |
111 |
專題研究計畫
(產學合作研究計畫)
|
前瞻科技及產業自動化 |
極紫外光光罩(EUV Mask)節能倉儲系統開發 |
計畫主持人
|
600,000 |
111 |
專題研究計畫
(產學合作研究計畫)
|
光電半導體自動化 |
半導體先進製程微汙染控制系統開發 |
計畫主持人
|
440,000 |
111 |
專題研究計畫
(產學技術聯盟合作計畫)
|
產學技術聯盟合作計畫 |
潔淨室相關技術產學聯盟 |
共同主持人
|
495,000 |
111 |
專題研究計畫
(前瞻技術聯盟合作計畫)
|
前瞻技術產學合作計畫 |
半導體廠務暨設備研發中心 |
共同主持人
|
4,500,000 |
109 |
專題研究計畫
(產學合作研究計畫)
|
能源節約 |
空氣過濾器的容塵量檢測設備開發 |
計畫主持人
|
677,000 |
109 |
專題研究計畫
(防疫科技發展計畫)
|
其他專案計畫 |
開發肺部插管作業之局部負壓隔離抽氣裝置 |
共同主持人
|
786,000 |
108 |
專題研究計畫
(主題式產學合作計畫)
|
綠能應用技術(節能) |
面板廠之智慧節能技術開發與應用 |
共同主持人
|
13,500,000 |
108 |
專題研究計畫
(產學合作研究計畫-應用型)
|
能源節約 |
晶圓盒門扉開啟時濕度控制之節能系統開發 |
計畫主持人
|
700,000 |
107 |
專題研究計畫
(新進人員研究計畫)
|
前瞻科技及產業自動化 |
潔淨多孔透氣材質應用於晶圓製造環境控制之開發 |
計畫主持人
|
658,000 |
107 |
專題研究計畫
(產學合作研究計畫-開發型)
|
前瞻科技及產業自動化 |
微型無線多功能即時環境監測系統開發 |
計畫主持人
|
806,000 |
106 |
專題研究計畫
(一般研究計畫)
|
能源節約 |
高科技廠房碳排轉換係數(CECFs)與總約當碳排(TECE)之研究 |
計畫主持人
|
688,000 |
105 |
專題研究計畫
(產學合作研究計畫-開發型)
|
其他–能源科技 |
新型手術室送風結構開發 |
計畫主持人
|
701,000 |
105 |
專題研究計畫
(產學合作研究計畫-開發型)
|
能源節約 |
半導體製程機台用封閉潔淨環境與新型晶圓傳送盒開發 |
計畫主持人
|
1,076,000 |
098 |
研究生出席國際會議
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建築都巿 |
2009年室內空調研討會 |
計畫主持人
|
35,000 |
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